光刻领军人 逐梦中国芯
|
◎徐报融媒记者 吴悠 见习记者 苏洋
从上海启动研发，到徐州第一批量产光刻胶单体下线，他历经8年，带领团队攻克了金属离子和纯化工艺等关键难题，成功突破了世界最先进193nm光刻胶单体研发和规模化生产，填补了我国在这一领域的空白……他就是徐州博康信息化学品有限公司董事长傅志伟。10月26日晚，在江苏城市频道播出的《江苏最美人物》节目中，傅志伟被中共江苏省委宣传部授予江苏“最美科技工作者”荣誉称号。
傅志伟1998年毕业于南京大学，30岁左右到上海创业，一次偶然的机会，傅志伟在工作中发现一个高频化学结构，通过查阅资料，发现这正是光刻技术中的核心材料——光刻胶。
由于国外对光刻设备、光刻材料的技术垄断，以往国内99%的高端光刻胶都依靠进口。正因为了解光刻胶的价值和意义，同时也知道这项材料的研发在国内是一项空白，所以在2004年，傅志伟决定创立企业，研发光刻胶。
2007年，傅志伟创办了上海博康精细化工有限公司，开始投身集成电路最核心的技术——光刻行业。
2010年，傅志伟返乡创业，在邳州经济开发区成立徐州博康信息化学品有限公司。
最初的时候，资金紧张，实验室建在上海的染料厂里，通风处理用排风扇，实验台用白瓷砖贴，即便是这样，傅志伟带领团队所做的实验都没有停。“做科研只有问题，没有困难。”傅志伟斩钉截铁地说。
傅志伟带领团队历经8年，成功攻克了金属离子和纯化工艺等关键难题，成功突破了世界最先进193nm光刻胶单体生产技术，实现了高端光刻胶及单体的国产。“外国人能做的，我们中国人也能做。”傅志伟的选择，让中国牢牢掌握住整个光刻行业的全流程核心技术，打破了国外的技术垄断和封锁线。博康集团成为了国内唯一一家研发和规模化生产中高端光刻胶材料的企业，为高端光刻胶商业化生产铺平了道路。
光刻材料取得重大进展后，傅志伟又向着先进光刻设备领域正式进军，三年时间完成了半导体纳米级制版光刻设备、封装及PCB激光直接成像设备两个国家科技重大专项。
在此期间，傅志伟用实际行动来助力家乡发展。2016年，博康集团收购了英国的光刻机制造企业NBL电子束光刻机公司，并在徐州经济技术开发区建立了徐州集成电路产业园——金龙湖创新谷，用高科技产品提升徐州产业集群的发展实力。博康集团还利用自己的行业资源，吸引大量有志青年回国创业，现已形成了拥有近40家半导体企业的产业集群，帮助徐州实现了通过引进一个人才，落地一个创业团队，从而形成一个产业。
傅志伟表示，“最美科技工作者”不仅是一份荣誉，更是一种社会责任与前进的动力，自己将坚定不移走科技发展创新之路，专注光刻事业，引领创新技术，聚集专业人才，努力将博康打造成综合性光刻产业集团，同时将继续发挥在行业中的影响力，号召更多的集成电路企业来徐州建厂，形成规模优势，并利用好在徐州经开区建立的金龙湖创新谷平台，推进科技成果转化、高精尖项目孵化等，为家乡徐州“建设产业强市、打造区域中心”贡献力量。